滲透儀主要采用壓差法進行檢測，壓差法原理是將事先處理好的試樣放置在上下測試腔之間，夾緊，先對低壓腔進行真空處理，然后對整個系統抽真空，當達到規定的真空度后，關閉測試下腔，向高壓腔充入一定壓力的試驗氣體，并保證在試樣兩側形成一個恒定的壓差，這樣氣體會在壓差梯度的作用下，由高壓側向低壓側滲透，通過對低壓側內壓強的監測處理，從而得出所測試樣的各項阻隔性參數。
該儀器運用二維測微器，滿足二維測量，結構緊湊，使用方便，測量穩定可靠的計量儀器，可廣泛應用于各級計量單位，研究所和大學實驗室，及大型工廠計量室和車間加工現場，對機床、儀器的精密導軌和精密平板作運動直線性和平直度測量，以及角度儀器和器具的角度測量測定。
操作滲透儀時需要留意以下事項：
1.對工作環境的要求：周圍大氣溫度為5℃-45℃；相對溫度<80%，不長期在含腐蝕性氣體的環境中工作；
2.如環境溫度低于0℃，則需放水，卸壓閥放空內的全部水源，一面結冰損壞系統的零件；
3.動力箱油在出廠時已加好，以后每半年打開后箱蓋及動力箱蓋，以更換一次20號或30號機械潤滑油，油量以加到接近主軸中心縣為準(約600ml)；
4.試驗用水應為脫氣水或蒸餾水；
5.按現場條件選用水力梯度，當情況不明時選用水力梯度不大于1.0；
6.將試樣包封在乳膠膜或橡皮套內，試樣應平整無褶皺，周邊應無滲漏，對于直接加荷型，應仔細安裝試樣上下墊層，使試樣承受均勻法向壓力；
7.分別裁剪順機向和橫機向試樣各3塊，當試樣較薄時應取2層或3層試樣重疊為一組進行試驗，這時應相應各剪裁6塊或9塊試樣；
8.施加2-5kpa的壓力，使試樣就位，隨即向水位容器內注入脫氣水，排走試樣內的氣泡，試驗過程中試樣應飽和；
9.按現場條件或設計要求選擇法向壓力至少進行三種壓力試驗，一種壓力稍大于設計值，一種稍低于設計值。對試樣施加小一級法向壓力，持續15min。抬高容器的水位，使其達到要求的水力梯度。當水流穩定后，測讀通過500立方厘米滲透水量的時間，或記錄15min內通過的水量，每個水力梯度下平行測定3次。
